真空鍍膜設備在工作的時候會產生大量的熱量，為了設備的長期溫度的使用，所以真空鍍膜設備在工作的時候必須通入冷卻水維持其溫度，避免溫度過高造成設備的老化或者損壞。真空鍍膜設備冷卻主要分為腔體冷卻和靶材冷卻。

腔體冷卻是只真空鍍膜腔體在工作的時候其內部會產生高溫，避免腔體因高溫導致老化所以在其腔體內部一般需要通入冷卻水進行控溫靶材冷卻是只鍍膜是的靶材會通入大量電流進入從而導致靶材溫度升高，若不能及時進行冷卻降溫將會導致靶材的損壞。